刘云涛 http://www.jk100f.com/baidianfengzixun/jiankangbaiwen/m/44509.html
二硼化锆靶材：高性能材料的关键角色
二硼化锆靶材在高温、耐磨和耐腐蚀领域具有重要应用价值。它的高熔点、优异的导电性和化学稳定性，使其成为薄膜沉积工艺中的理想材料。
二硼化锆的晶体结构决定了它的性能优势。六方晶系使其在高温下仍能保持稳定，而高硬度则提升了靶材的耐用性。在溅射镀膜过程中，二硼化锆靶材能形成均匀、致密的薄膜，广泛应用于电子元器件、切削工具和防护涂层等领域。
然而，二硼化锆靶材的制备工艺较为复杂。粉末冶金是常见方法，但烧结温度高，容易产生孔隙，影响靶材的致密度。热压烧结和放电等离子烧结技术能改善这一问题，但成本较高。
此外，二硼化锆的脆性也限制了其在某些高冲击环境下的应用。
尽管存在挑战，二硼化锆靶材的优势仍使其在高端制造业中占据重要地位。未来，通过优化制备工艺和复合材料设计，它的应用范围有望进一步扩大。
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