一、时代背景
随着国产半导体行业的空前发展，目前半导体加工上下行业都迎来了自己的发展潮，在行业发展的过程中抓住机遇，往往能得到突飞猛进的发展。以前国产半导体行业规模不大，烤箱工艺要求并不是特别高，但是随着行业的发展，用户对产品品质要求的提高，对工艺要求也就也来越高。之前一直做烘箱、干燥箱的厂商，如今都在尝试往半导体加工领域突破，我们主要针对半导体烘烤工艺过程中氧浓度监控的重要性展开讨论。
二、无氧烘箱的应用和特点
BCB用高温无氧烘箱主要应用于航空航天、石油化工、船舶、电子、通讯等科研生产单位，用于BPO/PI/BCB固化，IC（wafer、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精度电子元器件、电子陶瓷材料无尘干燥、电子产品材料、元器件等高温洁净环境干燥老化试验。
无氧烘箱的特点：
1.烤箱采用陶瓷纤维保温材料，升温快，节能特点
2.优良的送排风系统，保证工作区温度均匀。
3.吸风玻璃纤维过滤器，保证洁净度要求。
烘箱内充入惰性气体（N2/CO2）去除烘箱内的氧气，防止烘烤时高温氧化，对无氧烘箱的结构，特别是密封、控制系统有特殊要求。
三、无氧烘箱氧浓度监控
无氧烘箱具有氮气控制系统和延时加热功能，即在加热前自动充氮气，保证工作区在加热前已形成低氧环境，避免高温氧化。当然，其他一些控制技术，包括双流充氮能量控制，也被很多用户采用，即双流充氮控制+延时加热，当炉内充氮时，自动切换到小流量节省氮气，普通烤箱没有这些功能。这些功能实现的前提是无氧烘箱配备氧气浓度监控的氧气分析仪。
四、氧化锆氧气分析仪
Microx-氧气分析仪是专为严苛环境应用而开发的氧气分析仪，它是一种非常可靠，紧凑且经济的氧气分析仪。这种分析仪采用快速响应的LP氧化锆传感器，可以测量从1ppm到25％的氧气浓度。快速响应、高精度和无需定期校准等特性，使得这款分析仪具有低维护且可以为过程控制应用提供可靠性能的分析仪。
应用：
手套箱吹扫和泄露检测
3D金属打印
波峰焊
气体分离
无氧烘箱
产品特点：
测量范围：1ppm-25％O2
可靠的氧化锆传感器技术
适用于严苛的环境，耐受℃高温
响应快
导轨式安装
LCD显示和4个多功能按钮
4-20mA信号输出
RS-通讯协议
24VDC供电
3组继电器报警
M18x1.5螺纹探头接口
