无尘无氧烤箱广泛应用于半导体、医疗、通讯、化工、航空航天、军品、电子等行业。顾名思义，其主要特点就是烘箱工作过程中内部达到洁净，无氧的环境。
那么其内部结构和工作原理是怎么样的？
01怎样达到无尘环境？
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风，为了达到内部无尘的环境，需要在出风口的位置增加高温高效过滤装置（又分为千级和百级过滤器）。烘箱内的空气通过回风口后，一部分经过排气口排除箱外，另外的经过循环通道再次加热，最后通过过滤器后回到工作室。
除了过滤空气外，另外要尽量避免工作过程中产生灰尘，需要选用高端的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
02怎样达到无氧环境？
工作室内主要是通过氮气置换来达到无氧环境，在风道内充入高纯度的氮气，一般纯度在99.%以上（根据不同产品氧含量要求不同），氮气进入后经过高温加热后再通过过滤器，反复循环达到要求值。氧含量检测目前主要是氧化锆分析仪为主，打开电源，氧化锆加热达到工作温度-℃，开始检测。
注意，在无尘室以外最好不要长时间使用，空气当中有大量的颗粒长期使用会大大减少空气过滤网的寿命。
03无尘无氧烘箱的控制和工艺流程？
产品放入，电源打开后，这时候不要急于充入氮气和启动加热。而是等到氧气分析仪达到上述所说的工作温度，氧气含量达到温度后才会有显示（当然根据不同的要求要把氧气检测的量程设置好），含量显示后打开氮气，达到所需要的氧含量如10ppm后，再打开加热。
另外提醒，选购的时候最好选择全自动控制，只要设置好程序之后，不用人工干预。使用前，设置好氧气分析仪量程，温度recipe,调节好每路流量计的流量。其主要流程是：打开电源后，氧气分析仪自动加热，大流量计自动开启充氮，达到设置好的氧含量后大流量计关闭，小流量计开启，加热同时启动。烘箱时间到，加热停止，氮气关闭。整个工艺流程结束。
当然，也可以根据不同的要求控制可以更改。
